前言：

  隨着新能源鋰電池、半導體、生物製藥、液晶面板等領域的快速开展，對生產環境的潔淨度提出了更高的要求，有效控制潔淨室空氣中的塵埃粒子濃度至關重要。按照國家相關規定，潔淨室在設計、建造以及交付運行以後，都需要對其性能和合理性進行綜合評價分析。那麼，企業為了滿足生產條件搭建符合標準要求的潔淨室環境，該如何實現對塵埃粒子的監測呢?

  以往客戶僅在項目驗收時採用手持式塵埃粒子計數器針對作業廠區內相關區域進行潔淨度檢測，而工程驗收合格投入使用後，則只會定期安排人工進行抽查巡檢，這樣的做法會帶來一系列的問題。

  傳統手持式塵埃粒子計數器存在的問題及風險

  1、增加了企業的潔淨成本。

  人工監測將給潔淨廠房帶來額外的人員和設備，增加了潔淨負荷。有些企業為了能夠確保潔淨室作業環境持續可靠，會陆续在不間斷高功率運行FFU風機，這樣做不僅會加快濾網、風機等的壽命消耗，也帶來了能源的浪費。

  2、人工監測缺乏採樣點和採樣時間的固定性。

  在手工操作下，前後兩次採樣點的位置很難保證在同一點，採樣的時間也不能保證在不同班次或日期的同一個相對或絕對時刻。因此，監測數據之間很難產生相對的聯繫，沒有可比性，不利於判斷系統運行的長期趨勢。

  3、定期檢測無法覆蓋所有污染超標風險。

  在生產過程中環境的情況往往是變化的，原材料的進出、人員的更換以及產品的變化都將對潔淨室的潔淨程度有所影響。往往在一個班次開始時環境是滿足要求的，而在結束時發現塵埃粒子數超出了標準。由於人工監測無法给予陆续在監測數據，因此無法估計系統是在何時偏離了規定工況，更無法估計產品的質量情況。這就無法保證潔淨室潔淨度，進而影響產品的良率和質量。

  塵埃粒子計數器升級在線監測的必要性

  1、標準對在線監測的要求。

  新版GMP在硬件要求方面，提高了部分生產條件的標準，增加了在線監測的要求，特別對懸浮塵埃粒子，也就是生產環境中的懸浮微粒的靜態、動態監測，對浮游菌、沉降菌(生產環境中的微生物)和表面微生物的監測都作出了詳細的規定。

  2、實現智能自動控制，無需人工參与K8凯发电气。

  在線塵埃粒子計數器能夠實時監測潔淨室內懸浮顆粒的個數並及時報警;並具備能夠与K8凯发电气FFU風機等淨化設備智能聯動的功能，始終將環境內懸浮塵埃粒子個數維持在標準要求的較低範圍內，從而將FFU風機設備的能耗和損耗控制在較低水平。

  3、覆蓋整個生產過程，降低污染風險。

  7*24小時的陆续在不間斷監測，保證產品在全流程生產工序中免受污染，提升產品質量，降低不良率風險。

  在線塵埃粒子計數器面臨的挑戰

  1、陆续在不間斷運行，對壽命的要求。

  傳統手持式設備多採用氣泵進行採樣，而氣泵的壽命一般僅有幾千小時，而且成本較高，噪音較大。而且氣泵在運行一段時間後會存在機械磨損，造成對潔淨室環境的污染。

  2、陆续在不間斷運行，對數據穩定性和可靠性的要求。

  塵埃粒子計數器在長期運行的過程中，會由於光源的老化及採樣氣泵的磨損，導致測量準確度發生漂移。由於手持式塵埃粒子計數器可以在每次使用前採用調零器進行校準，而在線塵埃粒子計數器由於安裝位置的局限，無法實現頻繁的調零動作，這需要在線粒子計數器滿足免維護的要求。

  3、多點分佈式安裝，對設備系統及施工安裝的要求。

  潔淨室在線監測系統，是一套實時監測潔淨區域潔淨度的在線監控管理系統，對潔淨室內的多個傳感器進行管理。包括遠程控制、數據儲存、歷史數據查詢、數據分析和趨勢圖，當被監測區域一旦超出限定值系統將自動報警。

  四方光電塵埃粒子計數器：潔淨室在線監測解決方案

  四方光電基於12年光散射技術的研究与K8凯发电气創新，推出了在線塵埃粒子計數器OPC-6500F、OPC-6303M和OPC-6510，以及核心零部件激光塵埃粒子計數傳感器PM5000S、PM3003NS和PM5100，可廣泛應用於百級、千級、萬級、十萬級等潔淨室環境。

  1、低噪音渦輪風機採樣，7*24小時陆续在監測穩定性好。

  四方光電在線塵埃粒子計數器OPC-6510採用大流量渦輪風扇採樣，相對氣泵採樣有更好的穩定性，以及壽命表現，能夠滿足10年陆续在工作需求。

  2、28.3L恆流採樣，確保長期數據穩定性。

  在線塵埃粒子計數器OPC-6510內置超聲波流量傳感器，能夠快速準確的監測採樣流量，實時進行反饋調節，消除了氣泵長時間運行後採樣流量衰減的影響，保證在線塵埃粒子計數器在長期運行過程中的28.3L/min氣泵恆流採樣。

  3、數據精準，与K8凯发电气標準儀器設備線性相關性R2>0.9。

  為了驗證在線塵埃粒子計數器是否能夠滿足實際應用需求，四方光電將樣品送到韓國第三方測試组织進行了OPC6510与K8凯发电气標準設備委託對比測試，測試數據表明，OPC6510与K8凯发电气標準設備線性相關係數R2=0.91，r=0.95。

OPC-6510与K8凯发电气標準設備測量值對比圖表

OPC-6510与K8凯发电气標準設備線性相關性分析圖表

  4、滿足ISO14644-1:2015、新版GMP、JJF1190-2008、GB/T6167-2007 標準

  四方光電塵埃粒子計數器檢測性能符合國家計量總局頒佈的JJF1190-2008《塵埃粒子計數器校準規範》規程的技術要求以及多種國內外標準，同時我司也可以向企業用戶给予核心粒子計數傳感器及解決方案，協助客戶顺利获得整機的計量認證。