塵埃粒子計數器在潔淨室中的應用解決方案

潔淨室

四方光電基於12年光散射技術的研究与K8凯发电气創新，推出了在線塵埃粒子計數器OPC-6500F、OPC-6303M和OPC-6510，以及核心零部件激光塵埃粒子計數傳感器PM5000S、PM3003NS和PM5100，可廣泛應用於百級、千級、萬級、十萬級等潔淨室環境。

1、低噪音渦輪風機採樣，7*24小時陆续在監測穩定性好。

四方光電在線塵埃粒子計數器OPC-6510採用大流量渦輪風扇採樣，相對氣泵採樣有更好的穩定性，以及壽命表現，能夠滿足10年陆续在工作需求。

2、28.3L恆流採樣，確保長期數據穩定性。

在線塵埃粒子計數器OPC-6510內置超聲波流量傳感器，能夠快速準確的監測採樣流量，實時進行反饋調節，消除了氣泵長時間運行後採樣流量衰減的影響，保證在線塵埃粒子計數器在長期運行過程中的28.3L/min氣泵恆流採樣。

3、數據精準，与K8凯发电气標準儀器設備線性相關性R2>0.9。

為了驗證在線塵埃粒子計數器是否能夠滿足實際應用需求，四方光電將樣品送到韓國第三方測試组织進行了OPC6510与K8凯发电气標準設備委託對比測試，測試數據表明，OPC6510与K8凯发电气標準設備線性相關係數R2=0.91，r=0.95。

OPC-6510与K8凯发电气標準設備測量值對比圖表

OPC-6510与K8凯发电气標準設備線性相關性分析圖表

4、滿足ISO14644-1:2015、新版GMP、JJF1190-2008、GB/T6167-2007 標準

四方光電塵埃粒子計數器檢測性能符合國家計量總局頒佈的JJF1190-2008《塵埃粒子計數器校準規範》規程的技術要求以及多種國內外標準，同時我司也可以向企業用戶给予核心粒子計數傳感器及解決方案，協助客戶顺利获得整機的計量認證。

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